三星電子開(kāi)發(fā)出透光率達88%的EUV薄膜

集微網(wǎng)動(dòng)靜，三星電子在202*年在代工場(chǎng)論壇上頒布發(fā)表自主研發(fā)EUV薄膜（pellicle）的動(dòng)靜，據ETNews報導，在2022歲尾三星電子完成透光率達88%的EUV薄膜產(chǎn)物開(kāi)發(fā)，并能夠大規模消費。

報導指出，韓國的EUV薄膜不斷被外部廠(chǎng)商壟斷，三星電子開(kāi)發(fā)EUV薄膜，是為應對將來(lái)的需求變革并實(shí)現供給多樣化，供給鏈多元化和不變值得等待。業(yè)界預測，本年EUV薄膜的需求將比去年增加近2倍。報導暗示，最早在*~2年內，韓國國產(chǎn)EUV薄膜將應用于商用化、量產(chǎn)消費線(xiàn)。

按照此前報導，除了開(kāi)發(fā)本身的EUV薄膜外，三星電子還在鞭策與國內次要質(zhì)料公司的合做。據臺媒DIGITIMES報導，三星電子將在其*nm工藝中接納透光率超越90%的最新EUV薄膜以進(jìn)步良率，那些薄膜未來(lái)自韓國公司SS Tech。

SS Tech在202*年消費勝利開(kāi)發(fā)出了透光率達90%的半導體EUV薄膜，并頒布發(fā)表最早將于202*年上半年進(jìn)入透光率超越90%的EUV薄膜的批量消費。

（校對/張杰）